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半导体真空电缆选型指南：低释气、耐高温，一篇讲透
半导体刻蚀、PVD/CVD 薄膜沉积、离子注入等前道核心工艺，都在高真空密闭腔体内完成。腔体长期处于高真空、高温交变、工艺气体腐蚀、等离子体
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